国仪量子技术（合肥）取得电子探测装置和扫描电镜专利，可提高背散射电子和二次电子的分离度和收集效率

国仪量子技术（合肥）股份有限公司近日获得一项名为“电子探测装置和扫描电镜”的专利，授权公告号为CN118098914B。这项专利的取得标志着中国企业在高端科学仪器领域取得了新的突破。

该专利的核心在于一种新型的电子探测装置，包括反射式能量分析器、两个探测器和导电屏蔽管。其中，反射式能量分析器由沿电子束入射方向依次设置的第一控制电极和第二控制电极组成，用于产生第一电场。第一探测器设置在第二控制电极远离第一控制电极的一侧，而第二探测器则设置在第一控制电极远离第二控制电极的一侧。导电屏蔽管沿电子束入射方向贯穿第一控制电极和第二控制电极，用于屏蔽反射式能量分析器产生的电场，允许电子束穿过并入射至目标样品。

这项设计的关键在于，第一电场能够将二次电子引导至第一探测器，从而显著提高背散射电子和二次电子的分离度和收集效率。在传统的扫描电镜中，背散射电子和二次电子往往难以有效分离，这限制了成像的分辨率和对比度。而国仪量子的这项专利技术有望解决这一难题，为扫描电镜技术带来新的突破。

扫描电镜作为一种重要的微观分析工具，在材料科学、生物学、医学等多个领域有着广泛的应用。提高其成像质量和效率，将有助于推动相关领域的研究进展。例如，在材料科学中，更清晰的微观结构图像可以帮助科学家更好地理解材料的性能；在生物学领域，高分辨率的细胞结构图像则可能揭示新的生命奥秘。

国仪量子技术（合肥）股份有限公司成立于2016年12月26日，注册资本为2893.95万元。该公司专注于量子精密测量相关设备的研发、生产和销售，同时也涉足量子计算、磁共振设备、分析仪器等多个领域。值得一提的是，中国科学技术大学资产经营有限责任公司持有该公司14.9267%的股份，显示出国仪量子与国内顶尖科研机构的紧密联系。

这项专利的取得，不仅体现了国仪量子在电子探测技术和扫描电镜领域的创新能力，也反映了中国企业在高端科学仪器领域的整体进步。随着更多类似创新的涌现，我们有理由期待中国在这一关键领域取得更大的突破，为全球科技创新贡献力量。